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我们知道,在电子行业中是需要对静电危害采取措施的,那么,半导体行业为什么也需要防范静电呢?
在微电子器件中,集成度越来越高,刻线宽度越来越窄,因此在生产过程中每一道工序都要防止因静电放电造成的击穿而造成大量报废。美国每年因静电放电致使半导体器件的损失达100亿美元;英国达20亿美元日本的微电子产品报废损失中有70%是因静电放电造成的。更可怕的是,有些超大规模集成电路在出厂时已被部分击伤,但未完全断开,当装在航天器上则可能造成不可挽回的事故。即便是在地面上,在计算机房、程控交换机房、航空航天指挥中心,由于静电放电的干扰,也会造成失真、噪音、失控、乱码等危害,这是在微电子应用领域中非常严重的问题。
电子工业生产中由于静电造成的事故数不胜数,人们相对来说对静电的认识也在不断提高,防范意识也在不断加强,静电事业形成了一段相对来说比较完善的体系,因此,在工业化生产中对于静电的举措还是很有必要的。